嘉兴科民电子设备技术有限公司是中国科学院微电子研究所与嘉兴市政府共同孵化的高端装备制造企业。由归国微电子设备制造制造团队及中科院顶级专家组成,主要从事原子层沉积(ALD)设备、集束型薄膜沉积系统(Cluster System)等高端半导体设备的研发和生产。经过11年的发展,目前公司已经拥有一支40人的专业团队,年销售额超过5000万元。
公司运用国际先进技术,致力于包括原子层沉积技术在内的IC、LED及光伏领域设备和工艺的研究与生产。已研制成功 KMT-200A原子层沉积系统;KMP-200B原子层沉积系统、KE-320型高亮度LED图形化衬底刻蚀系统等产品,并具有完全自主知识产权,具有国际先进水平。
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